三木SEO-三星成功研发EUV光罩护膜，透光率88%

2026-04-20 03:30:02

来历：韩媒 ETNews

据韩媒报导，三星在2022年末已经完成透光率达88%的光罩护膜研发，并把握量产技能。业界指出，三星投入EUV光罩护膜研发，重要为了应答将来需乞降供给多元化。

光罩护膜用在半导体暴光制程，可以年夜幅削减制程污染，削减光罩毁伤。EUV用光罩价格达数亿韩元（1亿韩元约8万美元），利用光罩护膜可降低成本，尤其是于5nm如下进步前辈制程，光罩治理最先遭到器重，光罩护膜的需求也响应晋升。

今朝EUV光罩护膜市场由独家供给EUV暴光装备的荷兰ASML、和日本三井化学（Mitsui Chemicals）主导。跟着光罩护膜的需求因EUV制程普和而晋升，对于海外厂商的依靠度将提高，为了供给链的不变，九五至尊官网需先行睁开投资。

据悉，台积电也为了确保EUV用光罩护膜投入产物研发，业界猜测，2023年EUV光罩护膜需求将比2022年增长近2倍。

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