




中国集成电路制造年会近日约请到了光刻机霸主ASML(阿斯麦)中国区总裁沈波到场,他出头具名解答了一些媒体体贴的话题。 只管UMC(联电)及Globalfoundries(格芯)前后公布抛却7nm制程和更进步前辈工艺的研发,但ASML依然对于EUV光刻机的远景暗示乐不雅。 此前有动静指出,中芯国际(SMIC)本年已经向ASML订购了一台EUV光刻机,估计来岁交付,用在7nm节点。 同时,传统的沉浸式光刻机方面,沈波称,本年下半年ASML已经最先出货家族开始进的NXT:2000i,很快会于中国市场上也见到。 别的,媒体早先有报导称,长江存储、上海华虹半导体别离向ASML订购了193纳米浸没式光刻机及193纳米双工件台沉浸YABO鸭脖官网式光刻机NXT:1980Di,别离用在存储芯片制造、晶圆代工。 据悉,ASML本年第一季度及第二季度的财报显示,年夜陆市场的发卖收入占比到达了20%摆布,已经与美国持平,且跨越了中国台湾地域。 ASML本年的EUV光刻机产能将到达20台,明后两年将慢慢晋升到40台。 来历:myDrivers