——为半导体系体例造提供进步前辈ALD, Epitaxy, PECVD及炉管装备
ASM国际集团（ASM International N.V.）作为半导体工艺装备领先供给商，其产物技能包括：原子层沉积（ALD）、外延生长（Epitaxy）、加强等离子体化学气相沉积（PECVD）及立式炉（Vertical Furnace）。2021年3月18日，SEMICON China展会时期，ASM举办媒领会，向业界先容公司一年来的营业成长及最新产物技能。
ASM中国区总司理徐来师长教师先容：ASM总部位在荷兰阿尔默勒，1968年景立，已经经有跨越50年的汗青。2019年起，ASM进入了全世界前十泰半导体装备厂名单。2020年，ASM总营收比拟2019年增加了18%，到达13亿欧元。重要的事迹增加来历在中国的强劲增加及咱们于进步前辈逻辑制程市场的高据有率，尤其是ALD范畴。2020年公司总营收及中国市场营收都做到了汗青最高纪录。
“ASM是全世界最年夜、市场据有率最高的ALD装备供给商，于外延生长、PECVD及立式炉等方面也连结领先职位地方，公司的立品之本是独占的IP技能，而且持久与全世界开始进的工场互助，不停晋升咱们的技能。”徐来讲，“2019年到2020年，咱们员工增加11%，专利拥有数目增加7%，ASM正站于快速成长的趋向之上。”
ASM的营业中央、研发中央漫衍于全世界七个地域。欧洲有两个研发中央，一个于比利时鲁汶，同时于芬兰赫尔辛基有一个质料试验室。ASM发家的模式是经由过程研究质料从而找到运用，及其他的装备供给商有些纷歧样。ASM的营业中央于日本、韩国有两年夜事业部，重要的产物是PEALD及PECVD，即加强等离子原子YABO鸭脖官网层沉淀及化学气相沉积。此外，ASM的炉管设计于荷兰，外延生长及热传导相干的ALD设计于美国。
“2020年，ASM于新加坡有一个工场投入利用，这个工场及以前的新加坡工场比拟增年夜了4倍，以后咱们会封闭或者缩小荷兰、韩国等地的工场，集中于新加坡工场出产。新加坡工场于去年第四序度落成，12月份，第一台呆板从这个工场发出。”徐来讲，“跟着营业的增加，咱们再也不由于工场的面积、出产能力而受限定。此刻整个供给链来说，重要还有是受制在零部件的交期，咱们供给交期的时间是非，也是按照每一个月、每一个季度供给链的交货环境所决议的，至少出产能力方面不会是咱们的瓶颈。”
ASM为中国半导体代工场建有强盛的出产和加工平台，可处置惩罚加工涵盖低在200妹妹至300妹妹规格的晶圆，面向逻辑芯片/代工场、存储/模仿制造与晶圆市场。
ASM的拳头产物ALD分为两类，一类及热相干，一类及等离子相干，于海内都有装机量，此中最厉害的是Pulsar，今朝市场上据有率是100%。ASM的ALD产物最近几年都连结两位数的增加，其单晶圆ALD占全世界市场份额达53%。于中国代工场及存储器客户中，ASM的ALD职位地方正连续晋升。
于已往一年外延是热点话题，增加迅猛，全世界的外延装备厂商重要有两家，一个是运用质料，一个是ASM。ASM于厚外延上是最领先的，由于这个技能于海内打开了很年夜的市场，为海内客户提供了较好的选择，今朝于年夜气压力的外延市场据有率增加很迅速。
ASM很早就最先做炉管，之前于中国市场的据有率不太好，近三年获得了很年夜晋升。于中国已往两年装机量剧增，重要增加的是200妹妹（规格晶圆）的机型，ASM是今朝独一一家于200妹妹（规格晶圆）上还有开发新机型的装备公司。
ASM于中国扎根20年，跟着中国半导体财产的高速发展，ASM于中国的成长很是快，远超在ASM于其他国度，每一年的增加都很是高。ASM于中国的客户也愈来愈多，总的客户有100多个，2020年中国的营收跨越了2亿欧元，得到了许多客户的承认，而且获得了差别客户的多个奖章。ASM中国为整个中国提供技能撑持及进步前辈技能研发办事，于本地拥有相干装备并存有配件，确保随时随地快速相应客户需求。
徐来暗示：“于中国20年的深耕过程让咱们可以或许强有力撑持该地域的快速成长，咱们已经经与中国绝年夜大都头部工场持久连结优良互助瓜葛，与当地客户配合协作以告竣他们的工艺技能方针并实现量产。”
ASM的ALD装备
ASM的外延装备
ASM的立式炉
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