三木SEO-微导纳米：拟募资不超11.7亿元投向半导体薄膜沉积设备智能化工厂等
2025-09-25 18:32:33
微导纳米5月29日发布晚间通知布告称，公司拟向不特定对于象刊行可转换公司债券拟召募资金总额不跨越11.7亿元，扣除了刊行用度后召募资金净额将用在半导体薄膜沉积装备智能化工场设置装备摆设项目、研发试验室扩建项目、增补流动资金。
通知布告显示，半导体薄膜沉积装备智能化工场设置装备摆设项目总投资额为6.7亿元，拟利用本次召募资金金额约6.43亿元。规划设置装备摆设进步前辈的出产车间，购置进步前辈出产装备及量测装备，晋升公司薄膜沉积装备的出产能力。本项目重要出产半导体范畴 iTomic 系列及 iTronix 系列产物，其触及原子层沉积及化学气相沉积两年夜类装备。
经由过程本项目的设置装备摆设，公司将连续拓展半导体范畴产物的工艺技能类型，并对于现有iTomic 系列及 iTronix 系列产物举行技能进级，延展机台的工艺规模，同时于装备的占地、产能、成本长进行优化，开发并量产越发进步前辈的工艺技能。
据相识，微导纳米致力在薄膜沉积装备研究，颠末多年成长，形成为了以原子层沉积（ALD）技能为焦点，化学气相沉积（CVD）等多种真空薄膜技能梯次成长的产物系统，笼罩多类三木SEO-工艺技能及产物种别。今朝，公司产物已经经笼罩逻辑、存储、新型显示（硅基 OLED 等）及化合物半导体等范畴。
此外，研发试验室扩建项目实行地址位在江苏省无锡市新吴区内，项目总投资额为4.3亿元。拟规划设置装备摆设进步前辈的研发干净间，购置进步前辈量测装备，优化公司研发测试情况，晋升公司研发能力和科技结果转化能力。旨于经由过程周详丈量、技能验证、质量节制、市场运用和人材造就等要害事情，确保产物质量不变靠得住的同时连续鞭策技能立异及产物研发，从而于不停推陈出新的市场情况中连结竞争上风，为实现世界级微纳技能解决方案设备制造商的方针提供技能支撑。
-三木SEO-
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